也是自己的老文, 去年3月写的。
ASML的光刻机,现在独占高端光刻机市场,也不过是近10年来的事。
在本世纪初,那时光刻机市场还是3家鼎立,ASML, 尼康,佳能, 用的immersion路线。 这个技术路线是由供职在台湾台积电的林本坚发明和提倡的,这3家几乎同时起步,但逐渐地,日本2家厂就不太行了。日本人做事认真,但局限在自己的圈子里,而荷兰作为现代资本主义的鼻祖,走的是跨国利用全球人才和技术资源的路子, 它的技术开发人员是国际化的,技术和零部件来自全球各地,比如多达50%来自美国,镜头来自德国蔡斯,台湾也有它的零部件供应商,而它自己集中精力关注整机整合,实践证明,这套方式要比日本人有竞争优势。
同时ASML也在研发新的EUV技术路线, 但耗时耗财,它一家做不下去了,而且风险太大,于是它在2012年邀请下游3个大用户,intel/三星/台积电来出钱入股来共同投资EUV。经过20年多年不同公司的努力,ASML在2017年终于拿出了较成熟商业化产品了, 现在台积电和三星,还有南韩的SK海力士的最先进芯片都开始也使用EUV生产,比如,台积电今年上半年要量产5nm逻辑芯片。 三星在逻辑芯片上仅仅落后台积电半年到一年,但三星也用EUV生产存储芯片DRAM/NAND,在存储芯片方面,三星是最领先的。
中国的芯片制造, 2个特点,一是吹牛,常常是影子还没有,就上媒体吹得天花乱坠,2是找借口,做不出来了,就说美国为首的西方不卖先进机器,美国是直到现在才开始干涉,以前是根本不管,2016年,上海的中芯国际就买了一台当时最先进的光刻机,ASML NXT 1980Di。
目前中国的芯片制造水平,是中芯第一,中芯本来就是台湾人创建的,与中国大陆本土没有技术渊源。 中芯以前连号称量产的28nm都是问题多多,那个量产宣传就是个笑话,2018年,请到了台积电的前叛将,叛逃到三星的梁孟松来当共同CEO,主要负责技术开发,终于解决了28nm的问题,同时开发了14nm, 去年底,14nm 进入risk production, 中国媒体还是以前的吹牛路子,直接就宣布量产, 现在中芯进口了几台ASML NXT 1980Di, 这才是量产的设备,设备安装工艺调试,估计到今年底,一切顺利的话,可以进入量产(mass production)。
至于中芯什么7nm, 那是扯了,那是开发N+1路线,一般是指12nm, 现在还在前期开发阶段。